НВГМ-2-1, НВГМ-5-1. Надвисококовакуумні гетерні магніторозрядні насоси Призначені для отримання та підтримки безмасляного високого та надвисококовакуумного (10-9 Па) при відкачуванні активних, у тому числі агресивних (миш'як, аміак, хлор тощо) та інертних газів у різних технологічних установках (молекулярно-променевій епітаксії, в установках) аналізу складу та структур матеріалу). Перевершують за характеристиками аналогічні насоси "Норд" НМД-0,4; НМДІ-0,4; та НМД-1; НМДІ-1 Складаються з магніторозрядних модулів та резистивних випарників гетерного матеріалу, оточеним екраном. Комплектуються блоками живлення магніторозрядних модулів (напруга холостого ходу мінус 7000В, струм короткого замикання 0,8А – використовується один або два блоки) та резистивних випарників гетерного матеріалу (напруга 10В, струм до 65А). Технічні характеристики: _______________________________________НВГМ-2-1________НВГМ-5-1 Граничний залишковий тиск, Па_______1*10(-9)__________1*10(-9) Найбільший тиск запуску, Па 13 Швидкість дії при відкачуванні: - Повітря, л/с____________________________2500_____________5200 - аргону ________________________________100______________400 Діапазон робочих тисків, Па_від 5*10(-9) до 10(-3) Діаметр отвору приєднувального фланця, мм___________250_______________400 Число приєднувальних фланців_________2_________________2 Габаритні розміри, мм: - Діаметр_______________________________503_______________770 - Висота________________________________552_______________580 Маса, кг_______________________________130_______________268 магніторозрядних модулів л/с _________500______________800